Scanning Electron Microscopy (SEM)

Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya. Cahaya hanya mampu mencapai 200nm sedangkan elektron bisa mencapai resolusi sampai 0,1 – 0,2 nm. Dibawah ini diberikan perbandingan hasil gambar mikroskop cahaya dengan elektron. Disamping itu dengan menggunakan elektron kita juga bisa mendapatkan beberapa jenis pantulan yang berguna untuk keperluan karakterisasi. Jika elektron mengenai suatu benda maka akan timbul dua jenis pantulan yaitu pantulan elastis dan pantulan non elastis (Khan, 2012).

Pada sebuah mikroskop elektron (SEM) terdapat beberapa peralatan utama antara lain: (1) Pistol elektron, biasanya berupa filamen yang terbuat dari unsur yang mudah melepas elektron misal tungsten; (2) Lensa untuk elektron, berupa lensa magnetis karena elektron yang bermuatan negatif dapat dibelokkan oleh medan magnet; (3) Sistem vakum, karena elektron sangat kecil dan ringan maka jika ada molekul udara yang lain elektron yang berjalan menuju sasaran akan terpencar oleh tumbukan sebelum mengenai sasaran sehingga menghilangkan molekul udara menjadi sangat penting. Prinsip kerja dari SEM adalah sebagai berikut: (1) Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat dengan anoda. (2) Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel. (3) Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh koil pemindai. (4) Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan elektron baru yang akan diterima oleh detektor dan dikirim ke monitor (CRT)(Browning, Chisholm, dan Pennycook, 1993). Dalam beberapa penelitian bahan alam alat ini digunakan untuk mengamati permukaan sel-sel matriks yang digunakan (Ma, Liu, Yang, Zu, Chen, dan Zhang, 2011)(Zhang, Zhao, Chen, dan Zhang, 2015)(Khademi, Saatchi, Mehdi, dan Baghaei, 2015). Secara lengkap skema SEM dijelaskan oleh gambar dibawah ini:

SEM

Keterangan: A: Electron Gun; B: Electron Beam; C: Anode; D: Magnetic Lens; E: to TV Scanner; F: Scanning Cods; G: Backscaffered Electron Detector; H: Secondary Electron Detector; I: Stage; dan J: Specimen.

Gambar Skema Kerja Scanning Electron Microscopy (SEM)

Be Sociable, Share!